德國Physik Instrumente移臺 Z向位

一、Physik Instrumente應用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學或機械部件、半導體行業(yè)中的機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應用、真空或無磁性環(huán)境中的應用。

 二、Physik Instrumente產(chǎn)品詳情

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變

三、產(chǎn)品展示

規(guī)格參數(shù)

主動軸：Z

行程：6.5毫米

系統(tǒng)分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器：增量，光學，直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

小位移:1納米

速度，閉環(huán):2.5毫米/秒

單向重復精度:6納米

雙向重復性:7納米

Z向運動時X向上的線性串擾:1.8微米

Z向運動時Y向上的線性串擾:2微米

Z向運動時θX向上的轉(zhuǎn)動串擾:25微弧度

Z向運動時θY向上的轉(zhuǎn)動串擾:41微弧度

Z向運動時θZ向上的轉(zhuǎn)動串擾:34微弧度

大負載容量:25牛

電機類型: NEXACT壓電陶瓷步進驅(qū)動器

驅(qū)動力:20牛

保持力（被動）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

: 920克

材料: 鋁，陽極氧化致黑

電纜長度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

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